電化學型氣體傳感器

電化學型氣體傳感器可分為原電池式、可控電位電解式、電量式和離子電極式四種類型。

原電池式氣體傳感器通過檢測電流來檢測氣體的體積分數(shù)，市售的檢測缺氧的儀器幾乎都配有這種傳感器，近年來，又開發(fā)了檢測酸性氣體和毒性氣體的原電池式傳感器?？煽仉娢浑娊馐絺鞲衅魇峭ㄟ^測量電解時流過的電流來檢測氣體的體積分數(shù)，和原電池式不同的是，需要由外界施加特定電壓，除了能檢測CO，NO，N02，02，S02等氣體外，還能檢測血液中的氧體積分數(shù)。

電量式氣體傳感器是通過被測氣體與電解質反應產生的電流來檢測氣體的體積分數(shù)。離子電極式氣體傳感器出現(xiàn)得較早，通過測量離子極化電流來檢測氣體的體積分數(shù)已電化學式氣體傳感器主要的優(yōu)點是檢測氣體的靈敏度高、選擇性好。

半導體氣體傳感器

自從1962年半導體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器問世以來，半導體氣體傳感器已經成為當前應用最普遍、最具有實用價值的一類氣體傳感器，根據(jù)其氣敏機制又可以分為電阻式和非電阻式兩種。

電阻式半導體氣體傳感器主要是指半導體金屬氧化物陶瓷氣體傳感器，是一種用金屬氧化物薄膜(例如：Sn02，ZnOFe203，Ti02等)制成的阻抗器件，其電阻隨著氣體含量不同而變化。它具有成本低廉、制造簡單、靈敏度高、響應速度快、壽命長、對濕度敏感低和電路簡單等優(yōu)點。

不足之處是必須工作于高溫下、對氣味或氣體的選擇性差、元件參數(shù)分散、穩(wěn)定性不夠理想、功率要求高。非電阻式半導體氣體傳感器是二極管式以及場效應管式(MOSFET)半導體氣體傳感器。其工作電流或電壓隨著氣體含量而變化，主要檢測氫和天然氣等可燃性氣體。其中，MOSFET氣體傳感器工作原理是揮發(fā)性有機化合物(VOC)與催化金屬(如鈕)接觸發(fā)生反應，反應產物擴散到MOSFET的柵極，改變了器件的性能。

通過分析器件性能的變化而識別VOC。通過改變催化金屬的種類和膜厚可優(yōu)化靈敏度和選擇性，并可改變工作溫度。MOSFET氣體傳感器靈敏度高，但制作工藝比較復雜，成本高。